| 本体 | iNEXIV VMA-4540 | |||
| ストローク(X x Y x Z) | 450 x 400 x 200mm | |||
| TP（タッチプローブ） | 400 x 400 x 166mm (TP20) | |||
| 装着時の測定範囲 | 400 x 400 x 170mm (TP200) | |||
| 450 x 400 x 200mm （画像測定） | ||||
| TP＋MCR20*1 | 325 x 400 x 166mm (TP20) | |||
| 装着時の測定範囲 | 325 x 400 x 170mm (TP200) | |||
| 375 x 400 x 200mm （画像測定） | ||||
| 最小表示単位 | 0.1 µm | |||
| 被検物最大質量 | 40 kg | |||
| 精度保証被検物最大質量 | 20 kg | |||
| 最大許容指示誤差*2 | EUX,MPE EUY,MPE | 2+6L/1000 µm | ||
| （Lは任意の測定長(mm)） | EUXY,MPE | 3+6L/1000 µm | ||
| EUZ,MPE | 3+L/100 µm | |||
| カメラ | 白黒1/3インチ型プログレッシブスキャンカメラ（標準）、カラー1/3インチ型プログレッシブスキャンカメラ（オプション） | |||
| 作動距離 （レンズから焦点面） | 73.5mm (レーザーAF装着時63mm) | |||
| 倍率 | 光学倍率：0.35～3.5 x （高倍率オプション0.52～5.2 x に変更可能） | |||
| モニター画面上倍率（WUXGA[1920 x 1200画素]24インチモニター使用時）：12.6～126 x | ||||
| ステージ上視野サイズ | 13.3 x 10mm～1.33 x 1mm（高倍率オプションでは8.9 x 6.7mm～0.89 x 0.67mm） | |||
| オートフォーカス | 画像AF、レーザーAF（オプション） | |||
| 照明 | 輪郭照明 | 白色LED透過照明 | ||
| 表面照明 | 白色LED同軸落射照明 | |||
| 斜光照明 | 白色LED8分割リング照明 | |||
| ビデオ解像度 | 640 x 480画素 | |||
| タッチプローブ（オプション） | レニショーTP200/TP20 | |||
| 供給電源 | 100V – 240V, 50/60 Hz | |||
| 消費電流 | 5A(100V) – 2.5A(240V) | |||
| 寸法 | 本体＋測定台 | 1000 x 1340 x 1553mm、500kg | ||
| （W x D x H）、 | ||||
| 質量 | コントローラー | 145 x 400 x 390mm、14kg | ||
| 動作環境 | 温度 | 10℃から35℃ | ||
| 湿度 | 70%以下 | |||
| 精度保証温度 | 20℃ ± 0.5K | |||
| ホストコンピューター | ||||
| CPU | Intel® Core™2 Duo CPU以上 | |||
| メモリー | 4GB以上 | |||
| OS | Windows®7 32bit | |||
| インターフェース | USB2.0 / IEEE1394 | |||
倍率参考画像
リンク：iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555 – 概要 | 株式会社ニコンインステック
